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终于有人把化学气相沉积说清了!
大家晚上好!做材料合成还在为“怎么把薄膜镀上去”、“怎么让纳米结构长出来”头疼?别再只会调溶液配比了!今天小编带大家盘一下实验室里最硬核的“气相镀膜大法”——CVD到底是啥!搞懂它,半导体、催化剂、涂层全都能拿下! 什么是CVD? 简单说,就是化学气相沉积是将挥发性的前驱体通入到反应区域附近产生化学反应,反应副产物被运输远离沉积区域,生成非挥发性的材料并在衬底表面扩散生长的过程。这与物理气相沉积从固体材料或者溅射靶材产生材料的转移过程不同。 目前常用的CVD沉积反应类型: 5大主流 CVD …